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TMC主動壓電消振SEM-Base VI 用于SEM和FIB

更新時間:2024-10-08

簡要描述:

TMC主動壓電消振SEM-Base VI 用于SEM和FIB,是專為掃描電子顯微鏡所設計的。掃描電子顯微鏡是振動敏感的儀器,而且這些精密儀器都有內(nèi)置的隔振系統(tǒng),SEM-Base可以兼容SEM內(nèi)部預裝的振動隔離系統(tǒng)。

TMC主動壓電消振SEM-Base VI 用于SEM和FIB

TMC主動壓電消振SEM-Base VI 用于SEM和FIB

SEM-Base® VI是下一代STACIS主動壓電消振產(chǎn)品。SEM-Base VI被設計用于支撐所有商用掃描電子顯微鏡(SEM)以及許多聚焦離子束(FIB)和小型雙光束儀器。SEM-Base VI具有更好的隔振性能、更快、更強大的控制器和高級圖形用戶界面(GUI)。SEM-Base VI使許多實驗室和設施達到了滿足工具制造商規(guī)格所需的地面振動水平。 

SEM-Base VI采用D特的“串行結構",其中的振動傳感器測量地面振動,而不是有效載荷振動。與其他設計不同,這確保了有效載荷共振不會限制隔振或造成不穩(wěn)定。振動傳感器是低頻慣性速度傳感器,在難以測量的亞Hz范圍內(nèi)具有最大靈敏度。結合我們D特的壓電致動器技術,SEM-Base VI即使在安靜的地面上也能實現(xiàn)J高的消振水平。 

SEM-Base VI可提供與以前型號平均高6 dB的隔振。此外,TMC的下一代控制器DC-2020采用了新的雙核處理器,為工具所有者和研究人員提供了一個非常簡單易用的圖形界面,可實現(xiàn)快速系統(tǒng)評估和安全操作。通過以太網(wǎng)連接時,DC-2020將在用戶的瀏覽器中創(chuàng)建SEM-Base GUI,無需安裝其他軟件或應用程序。此外,用戶也可以通過板載菜單驅(qū)動的液晶顯示器(LCD)與控制器連接。 


TMC主動壓電消振SEM-Base VI 用于SEM和FIB

硬安裝技術 - SEM-Base VI與所有內(nèi)部SEM振動控制系統(tǒng)兼容,可以從0.6 Hz開始主動減輕低頻地面振動。

主動慣性振動消除 - SEM-Base VI使用高靈敏度、低頻慣性速度傳感器,即使在安靜的地面上也能實現(xiàn)高水平的振動衰減。 

采用壓電技術的串行設計 - D特的串行設計和專有的高力壓電技術可實現(xiàn)0.6 Hz至150 Hz的寬主動帶寬和從2 Hz開始減振90%的zhuo*yue慣性主動振動消除性能。

性能規(guī)格
主動自由度6
主動帶寬0.6 Hz - 100 Hz
被動固有頻率標稱值為12 Hz
有效的主動共振頻率0.5 Hz
1 Hz時的隔振40% - 70%
2 Hz時的隔振90%
≥3 Hz時的隔振90 - 98%
內(nèi)部噪音<0.1 nm RMSd>
工作負載范圍標準承重能力:900 - 2,500磅(408 - 1134千克)
高承重能力:2,500 - 3,200磅(1134 - 1452千克)
磁場發(fā)射
4英寸(102毫米)處
距離平臺
<0.02 μG broadband RMSd>
設計、尺寸、環(huán)境和效用要求
環(huán)境和安全符合CE和RoHS標準
主動隔振元件最小承重能力為3300磅(1500千克)的壓電致動器接收來自高壓放大器的信號,其輸出高達800 VDC。垂直執(zhí)行器支撐隔振的有效載荷
被動隔振元件單個硬彈性體(無需壓縮空氣源)
振動傳感器元件向下的地震檢波器型慣性傳感器,用于
測量隔振器下方的地面振動,并
提供與振動運動速度成正比的電壓
主動反饋控制回路在支撐隔振表面的彈簧
下方測量、處理和
支撐隔離面
尺寸(寬 x 深)35.25 x 44.25英寸
895 x 1124毫米
高度標稱6.3英寸(160毫米),
SEM-Base關閉時不會改變
工作溫度50° - 90° F
10° - 32° C
儲存溫度-40° - 130° F
-40° - 55° C
濕度80% at 20o C, Max dewpoint: 18o C
系統(tǒng)電源要求100、120、230、240 VAC
50/60 Hz AC; <600 W
符合CE標準
地面位移<800 μin. (20 μm) below 10 Hzd>
內(nèi)置控制器規(guī)格
處理器150/75 MHz雙核
采樣率10 kHz
模擬輸出16個通道
模擬輸入16個通道
狀態(tài)燈單個LED
前面板端口1個串行USB 2.0
1個串行Micro-USB
1個以太網(wǎng)RJ-45
2個BNC
用戶界面前面板液晶顯示屏
超級終端上的字符菜單
適用于Microsoft Windows的擴展GUI
嵌入式以太網(wǎng)GUI




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應用圖:

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